USER SUPPORT INFORMATION

【メーカー】
●CKD(株)

【特長】
●流量監視に抜群の使いやすさで、双方向計測も可能です。

【用途】
●設備や塗装エアの消費流量管理。
●半導体製造装置パージガスの流量管理。
●イオナイザの流量管理。
●微小部品の吸着確認や吸着ミス管理。
●ノズルやフィルタの目詰まり検知。

【仕様】
●最大流量(L/min):20
●分解能(L/min):0.01
●接続サイズ:ワンタッチφ6
●精度:±1%F.S以下
●対象流体:清浄/圧縮空気・窒素ガス(アルゴン炭酸ガス)
●耐圧保証:1MPa
●耐熱温度(℃):0~50℃(結露なきこと)
●保護等級:IP40

【注意】
●計量法に適合していませんので、工業用センサーとして使用してください。
●一次側にドレン、オイルミストなど異物除去用フィルターを設置してください。
●表示機能分離タイプもございます。

【原産国】
●日本

【質量】
●80.000G


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